第552章 新光刻機測試

只能等到明天開機生產測試之後，再以提醒的方式慢慢告訴他們了。眾人又在晶元實驗室內等待了一個多小時，直到光刻機完成全部安裝工作，這才有些不舍的離開實驗室，各自散去。按照他們的意願，恨不得當天晚上就開啟生產線，進行光刻測試才好。奈何這裡是瑞芯晶圓廠，而不是他們團隊在京城的實驗室，什麼時候開啟晶元生產線，什麼時候對這台光刻機，進行測試，都要瑞芯晶圓廠這邊的負責人說了才算。

一夜無話，第二天，喬瑞達再次來到瑞芯晶圓廠，跟王院士、姚院士等人匯合，一起換上無塵服，進入晶元實驗室。以林孟松為首的幾十名來自瑞芯晶圓廠的研究員，比他們更先進入實驗室，此時已經在晶元生產線上忙碌起來，預熱機器，準備物料，調整部份設備的參數，為接下來的光刻機測試做準備。

喬瑞達走到林孟松的身邊，開口詢問道：「林總監，準備的如何了？」

聽到聲音，林孟松轉過頭，看到是喬瑞達，連忙點頭問好道：「喬總，您來啦，已經準備完畢，隨時可以開啟測試。」

喬瑞達滿意的點點頭，說道：「好，那就馬上開始吧，那幾位院士已經有些等不及了。對了，你們打算生產哪種石墨烯晶元，進行測試？」

「我準備了石墨烯內存晶元和通信晶元，兩塊掩膜版，用來進行光刻測試。這是咱們手裡最簡單的石墨烯晶元了，如果這都不行，上其它複雜一些的晶元，就更難成功了。」

「那就選內存晶元好了，先來它二十片，看看這台新研發的石墨烯晶圓光刻機，能不能生產出合格的晶元。」

「好的，喬總，我們這就開始生產。」林孟松答應了一聲，而後走向總控台，親手開啟了這條石墨烯晶元實驗生產線。

下一刻，機械轉動，天車飛馳，整條生產線，立馬運行了起來，一片片石墨烯晶圓，通過傳送帶，機械手，在生產設備之間不斷流轉，進行了一個又一個工序。石墨烯晶元生產流程非常複雜，耗時非常長，而光刻環節，比較靠後，至少需要兩個小時之後，才能輪到新光刻機登場測試。

喬瑞達無事可干，站在那裡差點打瞌睡。倒是以諸位院士為首的研發團隊成員，大部分是第一次看到完整的石墨烯晶元生產流程，那是相當之好奇。幾十號人，跟著那批正在加工的石墨烯晶圓，走過一台又一台設備，看的那叫一個認真，生怕錯過任何一個細節。

「老王，聽說你們北大晶元實驗室里，也有一條石墨烯晶元實驗生產線，跟這條生產線相比如何？」姚院士用肩膀碰了碰旁邊的王院士，開口詢問道。

「差不多吧，我們那條生產線，也是喬瑞達贈送給學校的，設備方案都差不多，產能稍稍高一些。滿足我們學校師生的流片需求足夠了，偶爾還能對外承接一些石墨烯晶元流片測試業務，貼補一下實驗費用。」說到自家學校的石墨烯晶元生產線，王院士那是相當自豪，要知道，目前全世界就兩個地方能夠生產成熟的石墨烯晶元，其中一個自然是瑞芯晶圓廠，而另一個地方，就是他帶領的北大晶元實驗室。

「別人是學生沾導師的光，蹭設備，蹭經費，到了你這裡，完全反了過來，換成學生給導師提供設備，提供技術。你就得意吧，收了喬瑞達當弟子，那還真是應有盡有。」

「呵呵，我說老姚，你這話怎麼那麼酸。喬瑞達能來我們北大讀書，能夠成為我的研究生，那都是我們爭取來的。像是喬瑞達這樣妖孽的學生，幾十年也就誕生了這一個，你就是羨慕也羨慕不來。」

對於石墨烯晶元的生產過程，那幾位院士和研究員從未見過，看的自然是津津有味。但是差不多的場景，喬瑞達不知看過幾十幾百遍，絲毫提不起半點興趣。無聊的度過了兩個小時，二十片測試用的石墨烯晶圓，經過幾十道工序的加工，終於輪到了光刻工序。

喬瑞達強打起精神，跟隨幾位院士，來到了那台橙色塗裝的光刻機面前。一位瑞芯晶圓廠的研究員，將一個裝滿石墨烯晶圓的容器，遞給王院士，說道：「姚院士，測試用的石墨烯晶圓都在這裡了，一共二十片，一片也不少。前面的所有工序都已經完成，現在就看這台光刻機的表現了。」

姚院士接過石墨烯晶圓，遲疑了一下，繼而對著王院士說道：「老王，你平常使用光刻機最多，經驗最豐富，要不咱們這台光刻機，還是由你來操作吧！」

「好吧，那就讓我來，有我出手，一定馬到成功！」

王院士接過石墨烯晶圓盒子，頗為自信的走上操作位。他打開盒子，使用特製夾具，將盒子里的石墨烯晶圓依次取出，放在光刻機的來料托盤上。然後安裝好林孟松提供的石墨烯內存晶元掩膜板，深吸一口氣，按下開機按鈕。隨著一陣滴滴輕響，指示燈閃爍，設備開始自檢，檢查各個零部件是否安裝到位，檢查光刻生產中使用到的各種物料是否齊備，同時對光源部門，進行預熱。

光刻機類型不同，使用的光源也大相徑庭，例如DUV光刻機使用的光源是193nm的深紫外光源。EUV光刻機，使用的光源是波長13.5nm的極紫外光源。而石墨烯光刻機更進一步，使用的是波長6.6nmFEL光源，理論上來說，它的極限加工精度，要比EUV光刻機小很多。當然，目前瑞達科技公司推出的石墨烯手機晶元和石墨烯筆記本處理器，遠遠沒有達到光刻機的極限加工精度。一個是現有設備不成熟，還達不到理論極限加工精度，在一個是完全沒必要追求那麼極限。相比傳統硅基晶元，石墨烯晶元的性能實在太過厲害，發熱也非常低，即使使用十NM以上的加工工藝，做出來的手機晶元，也甩開硅基手機晶元幾條街。在競爭對手掌握石墨烯晶元生產技術之前，根本不用拿出過於先進的產品。

幾分鐘后，「嘀——」一聲長鳴，光刻機自檢結束，智能控制程序啟動，兩片石墨烯晶圓先後被光刻機「吞」了進去，在精密機械臂的夾持下，精準的放置於雙工件台上。而後專用扣具鎖緊晶圓，設備內光華不斷閃爍，光刻流程正式開啟。

這次加工的石墨烯內存晶元，製程工藝比較低，結構比較簡單，光刻過程幾乎都是一遍過，不需要進行套刻、3D累積之類的複雜操作，所以加工起來速度個外的快，一片石墨烯晶圓的完整光刻流程，也不過是幾個眨眼的時間。所以這20片測試石墨烯晶圓，相當不頂用，僅僅開機工作了幾分鐘，就全部光刻完成。

林孟松再次走上前，將光刻完成的石墨烯晶圓收起來，放入專用盒子，而後帶著盒子，來到下一道工序設備面前，進行後面的顯影、硬烘、刻蝕、檢測等工序。全部流程走下來，已經是一個小時之後的事情了。進入生產線的時候，是二十片晶瑩剔透的石墨烯晶圓，出來的卻是一小堆黑不溜丟的晶元，擺在眾人面前，只看賣相，確實有些對不起觀眾。「這些內存晶元的數量是不是太少了一些，20片晶圓至少可以加工出幾百枚石墨烯內存晶元吧，這裡怎麼才這麼一點？」看到成品只有這麼一小堆，姚院士提出了他的疑惑。

「在晶圓切割成為晶片之後，使用光學設備，進行了一次初步篩選，將那些存在明顯缺陷的，全部篩了出去。也就是說，能夠走到最後，加工成晶元的，只有面前這些了。」林孟松指著面前這一小堆晶元，說道。

「這麼說，這些晶元都是合格產品了？」

林孟松搖了搖頭，說道：「我剛剛不是說了，前面的篩選工序，只是初篩。現在這些晶元，還要送到隔壁實驗室，進行詳細的測試，才能確定晶元的好壞。」

說罷，林孟松將這堆內存晶元，裝進一個防靜電袋子，拿著送去了隔壁的晶元測試實驗室。接下來又是漫長的等待，直到半個小時后，檢測完成，林孟松拿著一份檢測報告，走進休息室。

「晶元檢測完成了，這是檢測報告，消息有好有壞，你們先聽哪一個？」

「當然是先聽好消息，剛剛經歷了幾個小時的等待，來個好消息，先讓我們高興一下也好。」

林孟松也沒有賣關子，直接說道：「好消息是，剛剛那堆內存晶元中，確實有合格產品，也就是說你們研發的這台光刻機，確實可以完成石墨烯晶圓的光刻工序，生產出合格的石墨烯晶元。」

聽到這裡，現場幾位院士，幾十位研究員，全部興奮了起來，小小休息室內，掌聲和歡呼聲響成一片，經久不息。他們研發的光刻機，可以完成光刻工序，生產出合格的晶元，這就意味著他們過去幾個月不分晝夜的努力，沒有白費，所有的付出，都有了豐厚的回報。回去之後，一大筆獎金跑不了，升職加薪也指日可待。

等到眾人的歡呼聲小了下去，才有人弱弱的提問道：「好消息說過了，我們也高興過了，現在說說壞消息吧，我們承受的住。」

「好吧，壞消息是，剛剛那一小堆內存晶元，合格產品只有2枚，良品率還不到1%。這說明你們研發的那台光刻機，存在嚴重缺陷，必須進行全面檢修，排除問題。」

林孟松的話音剛落，休息室內剛剛還興高采烈的眾人，立馬蔫了下來。

「什麼，合格晶元只有2枚，怎麼會這麼少。20片八寸晶圓，切割成內存晶元，至少可以生產上萬枚。合格產品只有兩個，怎麼會這麼慘？」

「不算不知道，一算嚇一跳，這哪裡是不到百分之一良品率，這是千分之一都不到呀！如果晶圓廠按照這個良品率大批量生產晶元，非賠掉褲子不可。」

「這還是生產最為簡單的內存晶元，結果竟然如此糟糕。如果是生產複雜很多的手機晶元，筆記本晶元，怕是一枚合格的晶元都生產不出來。」

「我建議馬上對那台光刻機，進行全面檢修，找到問題所在，儘快解決問題。」

「複議，產品良品率這麼低，設備一定存在一個甚至是多個重大缺陷，找起來應該不難。」

「看來馬上有一場硬仗要打響，咱們又要加班加點的忙活了，這次的元旦假期怕是又要取消了。」

「啪啪」姚院士拍拍手，吸引了大家的注意之後，大聲說道：「大家不要灰心泄氣，不就是晶元良品率低一些嗎，又不是完全不能用。咱們團隊只用了幾個月時間，就從無到有，攢出了一台領先全球的石墨烯晶圓光刻機。現在這台設備，不過是存在一些小毛病，需要咱們一一找出來，進行修復。這個難度比起研發一台光刻機，可是簡單太多了，大家幹嘛如此垂頭喪氣的。」

經過姚院士一番點撥，一眾研究員也回過神來。不過是產品良品率低一些，又不是項目徹底失敗，有什麼好沮喪的。只要肯下功夫，查找問題，修復缺陷，良品率總會漲回來的。大不了再肝他幾個月，總有成功的那一刻。

眾人重新燃起希望，前往食堂，草草吃過一頓遲來的午餐之後，再次扎進實驗室，圍繞著那台光刻機，尋找問題，分析問題，解決問題。喬瑞達也旁敲側擊的提點了他們幾句，讓幾位院士茅塞頓開，很快找到幾個存在缺陷的零部件，拆了下來。接下來，要做的是，重新設計這些有問題的零件，使用全新的材料，採用全新的加工方式，以確保不會出現原來的問題。(本章完)