第514章 準備起飛

要是普通人，要把一條晶元代工產線上的這些設備都自己想辦法湊齊，那基本上沒什麼可能性。

但是電子學院這些老教授出馬，搞晶元的門生故舊滿天下，加上又是內行，本身一個個就像狂熱的電腦DIYer一樣在教學時間外就忙著奔波這些事兒，所以花了幾個月的時間就把這事做成了。

錦城任重辦公室。

陳叔德和孫山河滿臉振奮，陳叔德教授把完整的產線設備清單遞給了任重，有些興奮的說道：「任先生，我們的設備基本上湊齊了，這是我們這條90nm製程工藝加工設備清單，裡面這些設備的價格和交付時間都約定好。」

說完，他同孫山河兩人用火熱的眼神盯著任重。

畢竟兩人前前後後跑了幾個月，這個事情終於要塵埃落定。現在陳叔德再也沒有當初一副懷疑的樣子，看著任重如同看財神一樣。

這回主要是他帶著任重跑了幾個月，在東大天南海北晶元代工企業去買二手設備，甚至人都跑出國去，在南洋、小鬼子、棒子這些地方都看了些二手貨，受到經濟衝擊的不僅僅是東大內地的代工業底層，其餘地區的中小晶元代工商日子更不好過。

這些得益於東大的自主化進程，國內的中低端晶元代工基本上都要自主解決了，國外這些中小型代工企業就更難拿到定單了，好多設備都在標著價格在出售，甚至比國內的都要便宜很多。

任重也樂意跟著陳叔德他們奔走在這個行業的底層，因為這樣一來讓任重對於半導體行業總算有了幾分認識，也建立了自己的一些人脈關係，不至於要找什麼東西他都完全沒有頭緒。

經過這幾個月的奔走後，任重基本上搞清楚了國內的晶元代工分佈，哪些代工什麼類型的晶元最有性價比，事實上做功率半導體和做內存晶元那是非常不一樣的。

這一路上，陳叔德終於見識到了任重的豪放一面，在陳叔德和孫山河他們看好了設備后，任重基本上毫不猶豫就下了定金確認。

倒不是任重付不出全款，而是這個東西沒有送到錦城這邊，付全款萬一被人坑就白瞎了。

經過了幾個月的時間四處奔波，終於把這條廠線的核心關鍵性設備都確認下來，剩下的東西都是常規設備在國內定製就可以了，這樣，全套產線的設備清單七七八八算下來，陳叔德他們重新湊的這條生產線，同那條報廢拍賣的產線也沒少花多少。

任重接過清單草草看了幾眼最終價格，現在是足足8個億的總價。

「我們現在是整條產線都配齊了嗎？」任重開口問道。

「都齊了，如果把這些東西組合建成一條生產線調試合適，滿負荷下一個月加工生產一萬片8英寸晶圓都沒有問題，雖然從產能方面比起你起初準備買的那條生產線要弱不少，畢竟關鍵設備少了一些，但是加工精度方面我們這條產線又要先進一代了，我們的製程工藝最高已經從0.13微米升級到了90nm，這是一個巨大的進步。別看這一點進步，可生產的晶元至少能領先2-3代呢。」

任重點了點頭，雖然說這套產線比起那條破產報廢產品線來說一點也沒有便宜下來，好消息是，這套由著陳叔德、孫山河他們這些教授DIY出來的產品線，雖然都是二手貨，但是成色還行，關鍵是升級潛力比原來那一套要強不少，輔助設備性能最高能支撐光刻機換代后升級到65nm。

這又將是一個巨大的進步，對於實驗室來說，他們要有這樣的製程，哪怕是睡著了都要笑醒，這不僅僅在國內大學中是頭一份，哪怕是全球高校排起來，也是排名前列。

當然現在這些教授都非常雞賊，對這個升級功能絕口不提，只是說這樣的設備匹配Z芯淘汰下來的那台90nm光刻機更合適，比從Z芯購買配套要更划算，作為半導體方面的文盲，任重對於這些彎彎繞繞自然不清楚。

在他看來，能幹90nm的活兒就相當不錯了。

甚至作為原型給亮劍世界參考，現在這套設備都大大超綱了，他要求的是教授們對這些設備都要非常熟悉。

「你們能不能將那台光刻機徹底翻修一遍，把工控軟體破解了換成我們自己寫的工控軟體來控制？」任重指著Z芯報廢下來的那台90nm光刻機說道，這是2005年時候的產品了，已經在晶元代工界算老爺爺級別。

「完全破解工控軟體源代碼可能比較麻煩，畢竟這些工控軟體都是加密了，沒法反編譯回去，我們倒是可以將這些工控軟體主機板重新複製，把軟體移植拷貝出來放到新主控板上面直接替換。

甚至這部分代碼我們也可以自己寫一個全新的光刻機工控軟體，只是花費比較大些，另外這台設備的機械部分和光源部分磨損嚴重，我們也可以考慮重新研製替換他們，把這台故障率高的光刻機恢復到良好狀態。」孫山河教授跟著任重跑了一段時間后，知道他的想法。

「但是我們沒法完全複製成功這台光刻機，實現所有零部件的替換，那套物鏡系統我想現在國內光學所都還做不到那麼高的精度，倒是光源部分我們現在基本上可以實現替代了。」

「如果按照你們的估計，現在我們還有多少零部件是沒法替代的？」任重一聽這個，立馬就不困了。

「如果按照國內現在的水平，其實理論上我們是可以100%替代了，當然大概還有10%左右是沒法完全替代，只是近似替代，實現90nm光刻機的完全國產化，但是那是另外的設計，我們沒法用國產的東西直接替代這台的零部件，畢竟這裡面有些東西涉及到專利權保護，我們沒法做得太相似了。但是理論上我們可以生產同類的大部分零部件進行替代了。」孫山河顯然對於這台光刻機非常熟悉，「我們的魔都微電子自己生產90nm光刻機已經量產，28nm接近實現量產的邊緣，但是在光源和物鏡系統方面仍然是短板。」

「陳教授，孫教授，這台光刻機如果要做研究性替代，我這邊會完全支撐你們的研究工作，每一個零部件研究量產工藝需要投資多少，我這邊全額資助！」任重聽到孫山河說完，眼睛一亮。

要是這些教授們把這台機器的零部件重新都生產一遍，那不等於就從頭研製了一台新的？四捨五入豈不是等於為亮劍世界直線跨越了好幾代奔小康了？

要知道90nm雖然放在主世界非常老舊，但是性能對於亮劍世界來說，這完全不亞於兩彈一星的存在，等於是跳過前面386到奔騰3整整六代CPU，直接跨越到加工奔騰4或者ARM9/ARM11的水平上！如果亮劍世界能把這條生產線的設備複製過去，那可謂是火箭式的跳躍。

要知道奔騰4和ARM9/ARM11這些CPU，可是已經達到了互聯網多媒體應用和手機准3G的水平晶元了。

要是這樣的話，亮劍世界十年內將這款光刻機及配套設備開發出來，在亮劍世界的70年代就可以進入互聯網時代和移動互連早期！這對於亮劍世界的其它國家來說，已經不是遙遙領先，而是斷崖式科技進步了。

對於航空業來說，這套產線如果發揮出來，其加工的CPU已經超越了當初F35初代機載計算機CPU性能水平，要知道F35早期機載計算機採用的PowerPCG4，採用的也不過是0.13微米的製程工藝。

而早期的90nm製程工藝晶元代工廠建設成本高達30億美刀以上，其中大部分的成本都是在這些設備上面！

現在任重通過收集破爛貨縫縫補補花8個億的設備費就集齊了90nm簡單生產線，雖然說產能方面比較孱弱了一些，但是真能加工出來PowerPCG4和PowerPCG5這樣的晶元，直接就把航空工控計算機的水平提升到主世界21世紀初期的水平，對於航空電子和船電電子、航天衛星等是一步到位了。

如果孫教授他們真能把那台二手光刻機複製出來，那麼距離亮劍世界複製這台機器也相差不遠了。

要知道在亮劍世界，難度極高的光學物鏡系統開發可是有大名鼎鼎的蔡司提供協助加工，只要將規格說明搞清楚，相信他們能想方設法完成這個東西，比起主世界的東大方面更加方便。

加上這台光刻機的工控系統如果可以複製在新主機板上，等於就有無限複製的可能性，雖然說修改不了這個程序，但是對於亮劍世界來說不存在盜版不盜版的問題，無限制複製這套系統完全沒有任何的障礙，任重只需要帶著主機板過去直接用也可以，畢竟幾百塊的帶貨不是什麼大問題。

聽了任重的話，陳叔德教授眼睛一亮，他的專業是搞半導體設備研究方面，任重的課題正好是他負責的方向，雖然說之前沒有把這個東西納入到研究課題來，那是因為沒有錢的緣故，項目組都要開發更加急迫的東西去了。

但是如果任重這邊肯出研究經費，他陳叔德就不僅僅想複製這台90nm的光刻機了，還想著自己把這台90nm光刻機進一步升級到65nm，從技術來說，90nm到65nm的演進並不是跳躍性的，而是漸進式，意思就是光刻機中大部分零部件都是通用的，可能就是工控和光學物鏡系統等少部分關鍵子系統存在差異。

而這些技術的研究突破，65nm工藝流程在國內屬於還有相當大的存量，不管是替代還是用於維修翻新來說很有研究的價值，更重要這是乾式光刻機，如果再在這個基礎上實現浸潤式，那就能一舉突破到28nm的水平，經過多次照射可以量產14nm甚至10nm晶元，這可是在國內都是非常先進的製程技術了。

「任先生，要是這樣說的話，我們倒是不妨將這台光刻機的替代性研究作為接下來我們的一個課題來開展，90nm光刻機國內的產品線不少，機台就更多了，保守估計是數以百台技術，如果突破了這些零部件的製造平替，我們未來也可以避免被別人卡脖子了。對於國內的90nm光刻機進行自主維護。」陳叔德有些激動的說道，他沒有敢說直接升級到65nm的事情，畢竟這個花錢更多。

「我這邊沒問題，這點研究還是可以資助的。」任重點了點頭道，「其實我希望你們把這些關鍵性設備都做平替研究，我不知道國內這方面是怎麼一個情況，反正從外部說的情況來看，外人對我們的這些設備工控機其實是可以通過某種渠道進行鎖定的。」

任重強調的自主可控，正是半導體人心中的痛。

眾所周知，頂級的DUV開機都要受到監督，讓產線加工的東西對某些人透明，從而監控著這些代工企業的生產行為。

「任先生，我們一直在做這方面的工作，原來我們的進展相對比較慢，是因為我們受制於方方面面的約束，版權方面的，資金方面的，人才方面的制約都有，如果我們現在只是研究做技術積累，不急著實現商業方面的回報，那麼我們完全可以對這套設備進行替代性研究工作。」

聽到任重願意打錢，陳叔德激動的說道。

任重的話算是直捅在了他肺管子上面了。

「是的，任先生，如果這方面的研究有充沛資金，我們最多花幾年時間就能把這套生產線設備吃透和平替。」旁邊孫山河也激動起來。

他們這些研究者，對於這些晶元業最核心技術和設備研究當然非常感興趣，因為出成果容易啊。

雖然說這些在對比ASML設備來說不值得一提，但是在國內仍然有大量的存在，我們在光刻機這塊雖然說有了突破，經過十多年持續投入，最強的已經達到了7nm水平之上，但是我們自主跨出這個製程並不久。

陳叔德他們雖然也參與了部分研究，但是並沒有搞過整機，大的成果都是別人的。甚至干出來了一個院士，陳叔德和孫山河他們雖然也是這個行業的資深專家，但是距離院士來說還有點遠。

對於他們這些人來說，如果可以自由選擇研究方向，他們當然更願意選擇光刻機的主機來進行研究。

沿著當前這套設備研究演進到了65nm對於他們來說不是特別難的事情，現在國內的配套也能支撐下來了。

重要的是在吃透這台光刻機主機后，後面更換成為浸潤式技術路線，那麼從45nm、35nm、28nm這些技術節點演化下去，畢竟光刻機技術發展到現在，相關浸潤式原理和基本的技術工藝這些多多少少擴散出來了不少，如果陳教授和孫教授他們在有充分投入的情況下，研究實現用水來替代空氣這個關鍵技術后，就能實現14nm/10nm這兩個關鍵性的技術節點，站在國內製程研究的前沿。

想想這些都他們都很興奮。

(本章完)